半導体デバイス界面の汚染・損傷の評価と対策

著者

• 黒田, 司 クロダ, ツカサ
• 岩黒, 弘明 イワクロ, ヒロアキ

書誌事項

半導体デバイス界面の汚染・損傷の評価と対策

黒田司, 岩黒弘明著

リアライズ社, 1992.2

タイトル読み

ハンドウタイ デバイス カイメン ノ オセン ソンショウ ノ ヒョウカ ト タイサク

注記

各章末: 参考文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA39999146
• ISBN:
  • 494765550X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 222p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体