1987半導体製造装置・材料業界

著者

• プレスジャーナル プレス ジャーナル

書誌事項

1987半導体製造装置・材料業界

プレスジャーナル調査部[編]

（VLSI report, special survey 5）

プレスジャーナル調査部, 1987.5

タイトル読み

1987 ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ・ ザイリョウ ギョウカイ

注記

半導体調査情報

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA40110176
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 237p
• 大きさ: 29cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.09
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BN02548811