Technologie hochintegrierter Schaltungen

著者

• Widmann, D. (Dietrich)
• Mader, Hermann
• Friedrich, H. (Hans), Dr.-Ing

書誌事項

Technologie hochintegrierter Schaltungen

D. Widmann, H. Mader, H. Friedrich

（Halbleiter-Elektronik, Bd. 19）

Springer, c1996

2. Aufl

注記

Includes bibliographical references and index

内容説明・目次

内容説明

Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Prozessintegration fur den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Prozesstechnologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder: Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktarmetalle, modernste Prozessarchitekturen fur CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen wesentlich verbesserte Einzelprozesse in Schichttechnik, Lithographie, AEtztechnik und Dotiertechnik mit selbstjustierenden Verfahren. Die Autoren, selbst aktiv an diesen Fortschritten beteiligt, geben Informationen aus erster Hand.

「Nielsen BookData」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA40294545
• ISBN:
  • 3540593578
• LCCN: 96185361
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: ger
• 本文言語コード: ger
• 出版地: Berlin ; New York
• ページ数/冊数: xix, 363 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874.65
• 件名:
  • LCSH : Digital integrated circuits -- Design and construction
  • LCSH : Metal oxide semiconductors, Complementary
• 親書誌ID:
  • BA07518077