Micro mechanical systems : principles and technology

著者

• Fukuda, T. (Toshio)
• Menz, W. (Wolfgang)

書誌事項

Micro mechanical systems : principles and technology

edited by T. Fukuda and W. Menz

（Handbook of sensors and actuators, v. 6）

Elsevier, 1998

注記

Includes bibliographical references

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA41092080
• ISBN:
  • 0444823638
• LCCN: 98020529
• 出版国コード: ne
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Amsterdam ; New York
• ページ数/冊数: viii, 268 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TJ163
  • DC21 : 621
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems -- Handbooks, manuals, etc
• 親書誌ID:
  • BA23435163