量子効果原子剥離による無損傷超薄片作成技術の開発
著者
書誌事項
量子効果原子剥離による無損傷超薄片作成技術の開発
市野瀬英喜, 1998.10
- タイトル別名
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平成7-9年度科学研究費補助金(基盤研究A2)研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究A2)研究成果報告書
- タイトル読み
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リョウシ コウカ ゲンシ ハクリ ニ ヨル ムソンショウ チョウハクヘン サクセイ ギジュツ ノ カイハツ
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注記
研究分担者:伊藤邦夫、石田洋一
