量子効果原子剥離による無損傷超薄片作成技術の開発

著者

• 市野瀬, 英喜 イチノセ, ヒデキ

書誌事項

量子効果原子剥離による無損傷超薄片作成技術の開発

研究代表者市野瀬英喜

市野瀬英喜, 1998.10

タイトル別名

平成7-9年度科学研究費補助金(基盤研究A2)研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究A2)研究成果報告書

タイトル読み

リョウシ コウカ ゲンシ ハクリ ニ ヨル ムソンショウ チョウハクヘン サクセイ ギジュツ ノ カイハツ

注記

研究分担者:伊藤邦夫、石田洋一

• NII書誌ID(NCID): BA41998667
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 147p
• 大きさ: 30cm