プロセッシングのための磁気中性線放電(NLD)プラズマの振舞に関する研究

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プロセッシングのための磁気中性線放電(NLD)プラズマの振舞に関する研究

研究代表者村岡克紀

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書）

[九州大学], 1999.3

Other Title

平成8年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書(課題番号08558045)

Title Transcription

プロセッシング ノタメノ ジキ チュウセイセン ホウデン NLD プラズマ ノ シンブ ニ カンスル ケンキュウ

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Details

  • NCID
    BA42072737
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [福岡]
  • Pages/Volumes
    60p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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