プロセッシングのための磁気中性線放電(NLD)プラズマの振舞に関する研究

著者

• 村岡, 克紀 ムラオカ, カツノリ

書誌事項

プロセッシングのための磁気中性線放電(NLD)プラズマの振舞に関する研究

研究代表者村岡克紀

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書）

[九州大学], 1999.3

タイトル別名

平成8年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書(課題番号08558045)

タイトル読み

プロセッシング ノタメノ ジキ チュウセイセン ホウデン NLD プラズマ ノ シンブ ニ カンスル ケンキュウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA42072737
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [福岡]
• ページ数/冊数: 60p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30140115