プラズマプロセスにおけるサブナノ粒子のその場測定法の開発

著者

• 渡辺, 征夫 ワタナベ, ユキオ

書誌事項

プラズマプロセスにおけるサブナノ粒子のその場測定法の開発

研究代表者渡辺征夫

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書）

[九州大学], 1999.3

タイトル別名

平成8ー10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(課題番号07458093)

タイトル読み

プラズマ プロセス ニオケル サブ ナノ リュウシ ノ ソノバ ソクテイホウ ノ カイハツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA42094795
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [福岡]
• ページ数/冊数: ii, 76p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195718