プラズマプロセスにおけるサブナノ粒子のその場測定法の開発

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プラズマプロセスにおけるサブナノ粒子のその場測定法の開発

研究代表者渡辺征夫

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書）

[九州大学], 1999.3

Other Title

平成8ー10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(課題番号07458093)

Title Transcription

プラズマ プロセス ニオケル サブ ナノ リュウシ ノ ソノバ ソクテイホウ ノ カイハツ

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Details

  • NCID
    BA42094795
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [福岡]
  • Pages/Volumes
    ii, 76p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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