次世代ULSI用超低抵抗コンタクト材料の開発

著者

• 安田, 幸夫 ヤスダ, ユキオ

書誌事項

次世代ULSI用超低抵抗コンタクト材料の開発

安田幸夫著

[出版者不明], 1999.3

タイトル別名

平成8年度-平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ジセダイ ULSIヨウ チョウテイ テイコウ コンタクト ザイリョウ ノ カイハツ

注記

課題番号: 08505001

研究分担者: 財満鎭明, 岩野博隆, 須黒恭一

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA42193389
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 188p
• 大きさ: 30cm