表面波プラズマにおけるマイクロ波吸収機構の解明とアンテナ結合系の最適化
著者
書誌事項
表面波プラズマにおけるマイクロ波吸収機構の解明とアンテナ結合系の最適化
[出版者不明], 1999.3
- タイトル別名
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平成9年度-10年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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ヒョウメンハ プラズマ ニオケル マイクロハ キュウシュウ キコウ ノ カイメイ ト アンテナ ケツゴウケイ ノ サイテキカ
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注記
課題番号:09680461
