Etching in microsystem technology

著者

• Köhler, Michael
• Wiegand, Antie

書誌事項

Etching in microsystem technology

Michael Köhler ; translated by Antje Wiegand

Wiley-VCH, 1999

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA42246860
• ISBN:
  • 3527295615
  • 3527295615
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim ; Cambridge
• ページ数/冊数: xvi, 368 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC21 : 621.381531
• 件名:
  • LCSH : Microfabrication
  • LCSH : Microlithography