電子エネルギー損失分光法を用いた原子層CVDにおける反応メカニズムの研究

著者

• 安田, 幸夫 ヤスダ, ユキオ

書誌事項

電子エネルギー損失分光法を用いた原子層CVDにおける反応メカニズムの研究

安田幸夫著

[出版者不明], 1999.3

タイトル別名

平成8年度-平成10年度科学研究費補助金(基盤研究B2)研究成果報告書

タイトル読み

デンシ エネルギー ソンシツ ブンコウホウ オ モチイタ ゲンシソウ CVD ニ オケル ハンノウ メカニズム ノ ケンキュウ

注記

課題番号:08455019

• NII書誌ID(NCID): BA42262222
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 121p
• 大きさ: 30cm