電子エネルギー損失分光法を用いた原子層CVDにおける反応メカニズムの研究

Author(s)

• 安田, 幸夫 ヤスダ, ユキオ

Bibliographic Information

電子エネルギー損失分光法を用いた原子層CVDにおける反応メカニズムの研究

安田幸夫著

[出版者不明], 1999.3

Other Title

平成8年度-平成10年度科学研究費補助金(基盤研究B2)研究成果報告書

Title Transcription

デンシ エネルギー ソンシツ ブンコウホウ オ モチイタ ゲンシソウ CVD ニ オケル ハンノウ メカニズム ノ ケンキュウ

Note

課題番号:08455019

• NCID: BA42262222
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [出版地不明]
• Pages/Volumes: 121p
• Size: 30cm