電子エネルギー損失分光法を用いた原子層CVDにおける反応メカニズムの研究

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電子エネルギー損失分光法を用いた原子層CVDにおける反応メカニズムの研究

安田幸夫著

[出版者不明], 1999.3

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平成8年度-平成10年度科学研究費補助金(基盤研究B2)研究成果報告書

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デンシ エネルギー ソンシツ ブンコウホウ オ モチイタ ゲンシソウ CVD ニ オケル ハンノウ メカニズム ノ ケンキュウ

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Note

課題番号:08455019

Details

  • NCID
    BA42262222
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    121p
  • Size
    30cm
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