摩擦力顕微鏡一体型加工評価装置の試作と極微小加工のメカニズムに関する研究

著者

• 森田, 昇 モリタ, ノボル

書誌事項

摩擦力顕微鏡一体型加工評価装置の試作と極微小加工のメカニズムに関する研究

研究代表者 森田昇

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成9年度-平成10年度）

[千葉大学], 1999.3

タイトル読み

マサツリョク ケンビキョウ イッタイガタ カコウ ヒョウカ ソウチ ノ シサク ト キョクビショウ カコウ ノ メカニズム ニ カンスル ケンキュウ

注記

研究課題番号:09650128

• NII書誌ID(NCID): BA4249815X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [千葉]
• ページ数/冊数: v, 181p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401