Silicon micromachining

著者

• Elwenspoek, M. (Miko)
• Jansen, H. V. (Henri V.)

書誌事項

Silicon micromachining

M. Elwenspoek and H.V. Jansen

（Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering, 7）

Cambridge University Press, 1998

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA4255149X
• ISBN:
  • 052159054X
• LCCN: 97043732
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Cambridge, [England] ; New York
• ページ数/冊数: xiii, 405 p.
• 大きさ: 27 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.15.S55
  • DC21 : 621.3815
• 件名:
  • LCSH : Silicon
  • LCSH : Micromachining
  • LCSH : Etching
• 親書誌ID:
  • BA20948693