高品質極薄Si系絶縁膜の低温形成と機能評価に関する研究
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書誌事項
高品質極薄Si系絶縁膜の低温形成と機能評価に関する研究
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書)
[九州大学], 1999.2
- タイトル別名
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平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究C(2))研究成果報告書(研究課題番号09650363)
- タイトル読み
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コウヒンシツ ゴクウス Siケイ ゼツエンマク ノ テイオン ケイセイ ト キノウ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ