ナノ分解能DLTS顕微鏡の試作

著者

• 前田, 康二 マエダ, コウジ
• 目良, 裕 メラ, ユタカ

書誌事項

ナノ分解能DLTS顕微鏡の試作

研究代表者 前田康二

前田康二, 1999.3

タイトル別名

平成8年度-平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ナノ ブンカイノウ DLTS ケンビキョウ ノ シサク

注記

研究分担者: 目良裕[ほか]

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA42918561
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 92p
• 大きさ: 30cm