負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発
著者
書誌事項
負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発
[石川順三], 1998.3
- タイトル別名
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平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金基盤研究(A)(2)(展開)研究成果報告書(課題番号08555172)
負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発
- タイトル読み
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フイオンビーム ニ ヨル フンタイ ビリュウシ エノ ムタイデン ムヒサン イオン チュウニュウホウ ノ カイハツ
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