負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発

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負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発

石川順三研究代表

[石川順三], 1998.3

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平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金基盤研究(A)(2)(展開)研究成果報告書(課題番号08555172)

負イオンビームによる粉体微粒子への無帯電・無飛散イオン注入法の開発

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フイオンビーム ニ ヨル フンタイ ビリュウシ エノ ムタイデン ムヒサン イオン チュウニュウホウ ノ カイハツ

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Details

  • NCID
    BA42969176
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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