マイクロマシーニングによる高性能化光電子集積機能デバイスの試作研究

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マイクロマシーニングによる高性能化光電子集積機能デバイスの試作研究

西原英晃研究代表

[野田進], 1998.3

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平成7年度〜平成9年度科学研究費補助金[基盤研究(A)(展開)]成果報告書(07555111)

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マイクロマシーニング ニ ヨル コウセイノウカ ヒカリ デンシ シュウセキ キノウ デバイス ノ シサク ケンキュウ

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Details

  • NCID
    BA42998367
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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