マイクロマシーニングによる高性能化光電子集積機能デバイスの試作研究

著者

• 野田, 進 ノダ, ススム

書誌事項

マイクロマシーニングによる高性能化光電子集積機能デバイスの試作研究

西原英晃研究代表

[野田進], 1998.3

タイトル別名

平成7年度〜平成9年度科学研究費補助金[基盤研究(A)(展開)]成果報告書(07555111)

タイトル読み

マイクロマシーニング ニ ヨル コウセイノウカ ヒカリ デンシ シュウセキ キノウ デバイス ノ シサク ケンキュウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA42998367
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm