半導体低次元構造制御の新技術に関する研究

書誌事項

半導体低次元構造制御の新技術に関する研究

藤田静雄研究代表

[藤田静雄], 1998.3

タイトル別名

平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))成果報告書 : 課題番号08455013

タイトル読み

ハンドウタイ テイジゲン コウゾウ セイギョ ノ シンギジュツ ニカンスル ケンキュウ

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA43002715
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [京都]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    30cm
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