電気化学プロセッシングによる窒化物系薄膜の形成・制御とその応用

著者

• 伊藤, 靖彦 イトウ, ヤスヒコ

書誌事項

電気化学プロセッシングによる窒化物系薄膜の形成・制御とその応用

伊藤靖彦研究代表

[伊藤靖彦], 1998.8

タイトル別名

Controlled formation and its application of nitride thin film by means of electrochemical processings

平成7年度科学研究費補助金試験研究(B)(1)研究成果報告書(課題番号06555268)

タイトル読み

デンキ カガク プロセッシング ニヨル チツカブツケイ ハクマク ノ ケイセイ セイギョ ト ソノ オウヨウ

• NII書誌ID(NCID): BA43028093
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm