電気化学プロセッシングによる窒化物系薄膜の形成・制御とその応用

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電気化学プロセッシングによる窒化物系薄膜の形成・制御とその応用

伊藤靖彦研究代表

[伊藤靖彦], 1998.8

Other Title

Controlled formation and its application of nitride thin film by means of electrochemical processings

平成7年度科学研究費補助金試験研究(B)(1)研究成果報告書(課題番号06555268)

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デンキ カガク プロセッシング ニヨル チツカブツケイ ハクマク ノ ケイセイ セイギョ ト ソノ オウヨウ

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Details

  • NCID
    BA43028093
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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