半導体モノリシック光集積回路のための面積選択有機金属気相エピタキシ
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半導体モノリシック光集積回路のための面積選択有機金属気相エピタキシ
中野義昭, 1999.3
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平成9年度-平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
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ハンドウタイ モノリシック ヒカリ シュウセキ カイロ ノタメノ メンセキ センタク ユウキ キンゾク キソウ エピタキシ
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研究分担者: 霜垣幸浩