X線全反射法によるSiO[x]非晶質薄膜の定量構造解析

著者

• 松原, 英一郎 マツバラ, エイイチロウ

書誌事項

X線全反射法によるSiO[x]非晶質薄膜の定量構造解析

松原英一郎研究代表

[松原英一郎], 1998.3

タイトル別名

平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 : 課題番号08455290

タイトル読み

Xセン ゼンハンシャホウ ニ ヨル SiO[x] ヒショウシツ ハクマク ノ テイリョウ コウゾウ カイセキ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA43050219
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm