シリコンカ-バイドを用いた集積化インテリジェントガスセンサ

書誌事項

シリコンカ-バイドを用いた集積化インテリジェントガスセンサ

研究代表者 勝部昭明

勝部昭明, 1998.3

タイトル別名

平成9年度科学研究費補助金(基盤研究 (B)(2))研究成果報告書 課題番号 08455160

タイトル読み

シリコン カ-バイド オ モチイタ シュウセキカ インテリジェント ガス センサ

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注記

研究分担者: 前川仁(埼玉大学工学部 教授), 内田秀和(埼玉大学工学部 助手)

英文併記

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA43083295
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [浦和]
  • ページ数/冊数
    96p
  • 大きさ
    30cm
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