シリコンカ-バイドを用いた集積化インテリジェントガスセンサ
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書誌事項
シリコンカ-バイドを用いた集積化インテリジェントガスセンサ
勝部昭明, 1998.3
- タイトル別名
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平成9年度科学研究費補助金(基盤研究 (B)(2))研究成果報告書 課題番号 08455160
- タイトル読み
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シリコン カ-バイド オ モチイタ シュウセキカ インテリジェント ガス センサ
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注記
研究分担者: 前川仁(埼玉大学工学部 教授), 内田秀和(埼玉大学工学部 助手)
英文併記