プラズマ環境STMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用

Author(s)

• 寺嶋, 和夫 テラシマ, カズオ

Bibliographic Information

プラズマ環境STMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用

研究代表者 寺嶋和夫

寺嶋和夫, 1999.3

Other Title

平成9-10年度科学研究費補助金(基盤研究B 2)研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究B 2)研究成果報告書

Title Transcription

プラズマ カンキョウ STM ノ カイハツ ト ソノ プラズマ ザイリョウ ヒョウメン プロセス ゲンシ スケール セイギョ エノ オウヨウ

• NCID: BA43115278
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: engjpn
• Place of Publication: [東京]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm