プラズマ環境STMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用
著者
書誌事項
プラズマ環境STMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用
寺嶋和夫, 1999.3
- タイトル別名
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平成9-10年度科学研究費補助金(基盤研究B 2)研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究B 2)研究成果報告書
- タイトル読み
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プラズマ カンキョウ STM ノ カイハツ ト ソノ プラズマ ザイリョウ ヒョウメン プロセス ゲンシ スケール セイギョ エノ オウヨウ
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