プラズマ環境STMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用

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プラズマ環境STMの開発とそのプラズマ材料表面プロセス原子スケール制御への応用

研究代表者 寺嶋和夫

寺嶋和夫, 1999.3

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平成9-10年度科学研究費補助金(基盤研究B 2)研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究B 2)研究成果報告書

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プラズマ カンキョウ STM ノ カイハツ ト ソノ プラズマ ザイリョウ ヒョウメン プロセス ゲンシ スケール セイギョ エノ オウヨウ

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Details

  • NCID
    BA43115278
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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