Si front-end processing - physics and technology of dopant-defect interactions : symposium held April 6-9, 1999, San Francisco, California, U.S.A.
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Si front-end processing - physics and technology of dopant-defect interactions : symposium held April 6-9, 1999, San Francisco, California, U.S.A.
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 568）
Materials Research Society, 1999
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注記
Includes bibliographical references and index
