In situ process diagnostics and modelling : symposium held April 6-7, 1999, San Francisco, California, U.S.A.

著者

• Auciello, Orlando

書誌事項

In situ process diagnostics and modelling : symposium held April 6-7, 1999, San Francisco, California, U.S.A.

editors: Orlando Auciello ... [et al.]

（Materials Research Society symposium proceedings, v. 569）

Materials Research Society, 1999

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA43280977
• ISBN:
  • 1558994769
• LCCN: 99041788
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Warrendale, PA
• ページ数/冊数: xi, 199 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7872.T55
  • DC21 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Thin film devices -- Design and construction Congresses
  • LCSH : Plasma diagnostics Congresses
  • LCSH : Lasers -- Industrial applications Congresses
• 親書誌ID:
  • BA00013775