書誌事項

Proceedings of the twelfth International Symposium on Plasma Processing

editor, G.S. Mathad ; [sponsored by] Dielectric Science & Technology and electronics Divisions

(Proceedings / [Electrochemical Society], v. 98-4)

the Electrochemical Society, Inc., c1998

タイトル別名

Plasma processing XII

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注記

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  • Proceedings

    [Electrochemical Society]

    Electrochemical Society

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA43283625
  • ISBN
    • 1566771986
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Pennington, NJ
  • ページ数/冊数
    viii, 292 p.
  • 大きさ
    24 cm
  • 親書誌ID
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