シリコン/金属の超音波接合に及ぼす雰囲気の影響

著者

• 加藤, 寛 カトウ, ヒロシ

書誌事項

シリコン/金属の超音波接合に及ぼす雰囲気の影響

研究代表者 加藤寛

加藤寛, 1999.3

タイトル別名

平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究 (B)(2))研究成果報告書 課題番号 80107375

タイトル読み

シリコン/キンゾク ノ チョウオンパ セツゴウ ニ オヨボス フンイキ ノ エイキョウ

注記

英文併記

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA43302832
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [浦和]
• ページ数/冊数: 104p
• 大きさ: 30cm