グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄法の研究

Author(s)

• 河邊, 隆也 カワベ, タカヤ

Bibliographic Information

グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄法の研究

（科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書）

[河邊隆也], 1998.10

Title Transcription

グローモード プラズマゲン オ モチイタ ホウデン センジョウホウ ノ ケンキュウ

Note

研究代表者: 河邊隆也

Details

• NCID: BA43610630
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [つくば]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Classification:
  • NDC8 : 534.93
• Subject Headings:
  • FREE : グロー放電
  • FREE : 超高真空
• Parent Bibliography ID:
  • BN06454458