Radio frequency power in plasmas : 13th Topical Conference : Annapolis, Maryland April 1999

著者

• Berabei, Stefano
• Paoletti, Franco
• American Institute of Physics
• Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas

書誌事項

Radio frequency power in plasmas : 13th Topical Conference : Annapolis, Maryland April 1999

editors, Stefano Bernabei, Franco Paoletti

（AIP conference proceedings, no. 485）

American Institute of Physics, c1999

注記

DOE CONF-990411

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA43997177
• ISBN:
  • 1563968614
• LCCN: 99065468
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Melville, N.Y
• ページ数/冊数: xiii, 504 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC21 : 530.44
• 件名:
  • LCSH : Radio frequency
  • LCSH : Plasma (Ionized gases)
• 親書誌ID:
  • BA00284604