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液晶ディスプレイ製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編

日刊工業新聞社, 1999.10

第2版

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エキショウ ディスプレイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン

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引用文献一覧表: p433

Description and Table of Contents

Description

液晶ディスプレイ製造装置に関する用語約2400語を解説した辞典。液晶ディスプレイを製造する9つの工程に分類し、各工程の用語は五十音順に配列。略語・日本語索引、英語索引付き。

Table of Contents

  • 第1章 工程の流れおよび基礎と装置用語の構成
  • 第2章 アレイマスク製造工程用語
  • 第3章 アレイ製造工程用語
  • 第4章 カラーフィルタ製造工程用語
  • 第5章 パネル(セル)製造工程用語
  • 第6章 モジュール製造工程用語
  • 第7章 検査工程用語
  • 第8章 設備・環境工程用語
  • 資料
  • 索引

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