Ionized physical vapor deposition

著者

• Hopwood, Jeffrey A.

書誌事項

Ionized physical vapor deposition

edited by Jeffrey A. Hopwood

（Thin films, v. 27）

Academic Press, c2000

注記

Includes index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA44093818
• ISBN:
  • 0125330278
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: San Diego
• ページ数/冊数: xii, 253 p.
• 大きさ: 24 cm
• 件名:
  • LCSH : Thin film devices -- Design and construction
  • LCSH : Thin films
• 親書誌ID:
  • BA25443322