新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明
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新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成9-10年度)
[畑朋延], 1999.3
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アタラシイ スパッタ タイセキ モード ニヨル キョウユウデンタイ PZT ハクマク ノ テイオン ケイセイ ト ソノ キコウ カイメイ
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