Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A.
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Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A.
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 546）
Materials Research Society, c1999
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注記
Includes bibliographical references and indexes