半導体産業における超純水の製造・装置・応用技術

著者

• IPC技術情報室 IPC ギジュツ ジョウホウシツ

書誌事項

半導体産業における超純水の製造・装置・応用技術

IPC技術情報室編

アイピーシー, 1985.7

タイトル別名

超純水の製造・装置・応用技術

タイトル読み

ハンドウタイ サンギョウ ニ オケル チョウジュンスイ ノ セイゾウ ソウチ オウヨウ ギジュツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA44929933
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 6, 288p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : 洗浄剤
  • NDLSH : 水 -- 浄化