CVDダイヤモンド薄膜のヘテロエピタキシャル成長における大面積化

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CVDダイヤモンド薄膜のヘテロエピタキシャル成長における大面積化

研究代表者 光田好孝

光田好孝, 1999.10

Other Title

平成9年度-平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

Title Transcription

CVD ダイヤモンド ウスマク ノ ヘテロ エピタキシャル セイチョウ ニ オケル ダイメンセキカ

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Note

課題番号: 09650781

研究分担者: 虫明克彦

Details

  • NCID
    BA45084211
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    32p
  • Size
    30cm
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