CVDダイヤモンド薄膜のヘテロエピタキシャル成長における大面積化
著者
書誌事項
CVDダイヤモンド薄膜のヘテロエピタキシャル成長における大面積化
光田好孝, 1999.10
- タイトル別名
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平成9年度-平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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CVD ダイヤモンド ウスマク ノ ヘテロ エピタキシャル セイチョウ ニ オケル ダイメンセキカ
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注記
課題番号: 09650781
研究分担者: 虫明克彦