はじめてのデバイス評価技術
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はじめてのデバイス評価技術
（ビギナーズブックス, 9）
工業調査会, 2000.1
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ハジメテ ノ デバイス ヒョウカ ギジュツ
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参考文献・引用文献: p222-230
Description and Table of Contents
Description
半導体デバイスにとって信頼性は重要なテーマである。わが国の半導体産業は短期間に大きな飛躍を遂げたが、その要因はデバイスの品質の良さにあったといっても過言ではない。これはプロセス・評価技術がしっかりしていたためといえる。本書はこの評価技術の全貌を著者の経験を交えて、初めての人でも十分理解できるようにまとめた実務書である。
Table of Contents
- 第１章 半導体デバイスの特徴
- 第２章 デバイス評価技術概要
- 第３章 信頼性試験
- 第４章 故障解析
- 第５章 寿命データ解析
- 第６章 具体例・応用事例
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