Selected papers on optical MEMS

著者

• Bright, Victor M.

書誌事項

Selected papers on optical MEMS

Victor M. Bright, editor

（SPIE milestone series / Brian J. Thompson, general editor, v. MS 153）

SPIE Optical Engineering Press, c1999

• alk. paper

注記

Includes bibliographical references and indexes

内容説明・目次

内容説明

A selection of 81 papers on six major topics within the field of optical microelectromechanical systems (MEMS).

目次

• MEMS technology - review papers on fabrication and various devices
• displays/adaptive optics
• beam steering/scanning
• spectrometers
• communications/switching
• lasers/detectors.

「Nielsen BookData」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA4559814X
• ISBN:
  • 081943129X
• LCCN: 98045576
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bellingham, Wash.
• ページ数/冊数: xvi, 628 p.
• 大きさ: 29 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874
  • DC21 : 681/.4
• 件名:
  • LCSH : Microelectronics
  • LCSH : Microelectromechanical systems
• 親書誌ID:
  • BA10810973