Selected papers on optical MEMS
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書誌事項
Selected papers on optical MEMS
(SPIE milestone series / Brian J. Thompson, general editor, v. MS 153)
SPIE Optical Engineering Press, c1999
- alk. paper
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注記
Includes bibliographical references and indexes
内容説明・目次
内容説明
A selection of 81 papers on six major topics within the field of optical microelectromechanical systems (MEMS).
目次
- MEMS technology - review papers on fabrication and various devices
- displays/adaptive optics
- beam steering/scanning
- spectrometers
- communications/switching
- lasers/detectors.
「Nielsen BookData」 より