Gate dielectric integrity : material, process, and tool qualification

著者

    • Gupta, Dinesh C.
    • Brown, George A.

書誌事項

Gate dielectric integrity : material, process, and tool qualification

Dinesh C. Gupta and George A. Brown, editors

（ASTM special technical publication, 1382）

ASTM, c2000

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注記

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA45719619
  • ISBN
    • 0803126158
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    West Conshohocken, PA
  • ページ数/冊数
    xi, 169 p.
  • 大きさ
    23 cm
  • 親書誌ID
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