Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 15. November 1984

著者

• VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik

書誌事項

Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 15. November 1984

VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik

（VDI-Berichte, 555）

VDI, c1985

注記

Includes bibliographies

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA45885607
• ISBN:
  • 3180905557
• LCCN: 85203846
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: ger
• 本文言語コード: ger
• 出版地: Düsseldorf
• ページ数/冊数: 141 p.
• 大きさ: 23 cm
• 分類:
  • LCC : TA3
  • LCC : TK7872.M3
  • DC19 : 620 s
  • DC19 : 621.381/73
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Masks -- Congresses
• 親書誌ID:
  • BA07558548