Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 13. November 1986

著者

• VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik

書誌事項

Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 13. November 1986

VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik

（VDI-Berichte, 621）

VDI Verlag, c1986

注記

Includes bibliographies

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA45885695
• ISBN:
  • 3180906219
• LCCN: 87407826
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: ger
• 本文言語コード: ger
• 出版地: Düsseldorf
• ページ数/冊数: 168 p.
• 大きさ: 23 cm
• 分類:
  • LCC : TA3
  • LCC : TK7872.M3
  • DC19 : 620 s
  • DC19 : 621.381/74
• 件名:
  • LCSH : Integrated circuits -- Masks -- Congresses
• 親書誌ID:
  • BA07558548