半導体用特殊材料ガス供給システムデザインマニュアル

著者

• 樫原, 稔 カシハラ, ミノル

書誌事項

半導体用特殊材料ガス供給システムデザインマニュアル

樫原稔著

リアライズ社, 1999.1

タイトル読み

ハンドウタイヨウ トクシュ ザイリョウ ガス キョウキュウ システム デザイン マニュアル

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA46088932
• ISBN:
  • 4898080138
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 217,118,3p
• 大きさ: 26cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : ガス器具